AOI装置

AOI装置
微分干渉鏡筒画像 計測処理後画像

LCDパネルにCOG、FOG等実装後、ACF粒子のつぶれ状態、個数を検査する装置です。

特長

  • 面積と個数によるデータ可否判定
  • オートフォーカス光学系により、ワークのそりに対する深度補償を実行
  • 計測データの解析及び計測全画像の保存が可能
  • PLC通信により装置制御やネットワーク対応が可能

基本仕様

パネルサイズ(mm) L 350~850 × W 200~500 × T ~0.15
FPCサイズ(mm) L 5~50 × W 15~50
検査速度* 20 mm/sec
検査カメラ倍率 5~10倍
検査カメラ視野 2mmライン(10倍)
分解能 0.7μm(10倍)
電源 3相 AC200V±10% 50/60Hz, 6KVA(MAX)
装置寸法(mm) W 2,280 × D 2,000 × H 2,000
装置重量(kg) 約1,500

* 当社基準のプロセス条件の場合