CISモジュールガラス洗浄装置

CISモジュールガラス洗浄装置

本装置は、半田リフロー後のCISモジュールガラス表面を洗浄してガラス表面の傷、異物検査を行う全自動装置です。

  • 工程フロー
    保護フイルム剥離 ⇒ ガラス表面の除塵ブロー ⇒ ガラス表面の異物ウエット洗浄 ⇒ 除塵ブロー ⇒ 洗浄 ⇒ 除塵ブロー ⇒ ガラス表面検査 ⇒ 良品トレイ or NGトレイに収納

基本仕様

モジュールサイズ(mm) □20~□60
除塵ブロー イオナイザー高圧ブロー
洗浄溶剤 IPA+無塵クロス
供給方式 ローダ&アンローダートレイ方式
サイクルタイム* 10秒(洗浄時間による)
クリーン度 クラス1000相当
電源 3相 AC200V±10% 50/60Hz, 4KVA(MAX)
圧空源 Dry air 0.49Mpa以上
装置寸法(mm) W 3,570 × D 1,320 × H 1,700
装置重量(kg) 約2,500

* 当社基準のプロセス条件の場合